1.1设备范畴：多工位晶圆甩干机是一种用于半导体制作的完好过程中清洗和枯燥晶圆的设备，其基本功能是通过十分快速地旋转发生的离心力将附着在晶圆外表的液体敏捷甩干。这种设备大范围的应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲刷旋干，可用于半导体新材料晶片、硅，砷化镓、碳化硅，掩膜版、太阳能电池基片、蓝宝石、铌酸锂、光学镜片、磁盘、光盘、医用玻璃基片等相似材料片子的高洁净度冲刷甩干，可到达同类进口设备功能。
1）PSC-X可视化接触操控办理体系，可存储和运转九个可编程的配方，每个配方过程时刻0-999秒
3）无需氮气，通过一起规划的进风体系，通过超净高效体系过滤后的新风，完成快速风干。
设备试生产运转前，卖方担任训练买方相关操作和修东西的人，内容有设备操作保护、毛病的剖析和处理。
质保期内设备如呈现毛病，在得到买方告诉后 4 个小时给答复，24 小时内卖方派有经历的工程师到现场进行修理。
设备在买方的施工现场装置调试完毕、接连试生产正常运转 30 日后，检验合格全体交货。
设备到货开箱前卖方应提早3天告诉买方，由买方、卖方和监理一起进行设备的初验。
卖方在设备包装发货前10天告诉买方到卖方制作现场检验，经买方检验人员检验合格签字后确认发货时刻;设备检验时须供给相关检验材料，但不作为设备的完毕检验。
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